传感器是人形机器人感知层的关键，基于MEMS工艺的力控、触觉、惯性传感器有望充分受益。

1）人形机器人将更重视感知层和交互层，传感器的重要性凸显。在智能机器人中，传感器用量大，成本占 比高，特斯拉optimus机器人上各类传感器成本占比接近30%。

2）人形机器人即将迎来快速发展阶段，传感器将在此过程中充分受益；其中力控、触觉、惯性三类传感器 的成本较高，且国内外在高端产品的技术水平上仍存在较大差距。MEMS传感器由于其高集成性、小体积、 规模化生产成本低等诸多优势，是应用于机器人传感器的上佳解决方案之一。

六维力传感器是机器人精准力控的优选方案，技术壁垒较高，我国正快速追赶世界先进水平。

1）力/力矩传感器是机器人实现力感知的重要途径。人形机器人通过主动力控实现“触觉”感知，以力传 感器为主的力控是机器人精准力控的优选。而六维力传感器是维度最高的力觉传感器，能给出最为全面精 准的力觉信息。

2）MEMS有望加速替代金属箔片式力传感器。从技术路线看，当前六维力以金属箔片式为主，但这类产品 存在在人工成本高，效率低等缺陷，相比之下，硅基MEMS式成本低、功耗低、可靠性高、适于批量化生 产，未来有望成为主流。

3）海外先发优势明显，国内企业快速追赶。目前ATI等海外企业主导全球市场，我国的六维力传感器行业 起步较晚；受制于维间耦合和标定检测等技术壁垒，目前仍处于产业早期，2022年市场规模仅约2.4亿元。 以坤维科技、蓝点触控、南宁宇立等为代表的民族品牌正快速实现六维力传感器的国产化和高端化；其中， 坤维科技已成功自主研发量产准度高于0.5%的六维力传感器，目前在国内市占率超50%。

来源：中泰证券

报告节选内容如下：